8-4 سنسور دما ……………………………………………………………………………………………………………………………………………………………… 65
1-8-4 سنسورهای پیزو مقاومتی (پیزورزیستیو) ……………………………………………………………………………………………. 65
2-8-4 MAT sensor( Manifold Air Temperature) …………………………………………………………………… 65
3-8-4 مقاومت Negative Temperature Coefficient (NTC) …………………………………………………….. 65
4-8-4 موارد استفاده NTC ………………………………………………………………………………………………………………………….
5-8-4 طراحی سنسور دما ………………………………………………………………………………………………………………………………. 66
67
9-4 پروسه ساخت سنسورهای فشار و دما …………………………………………………………………………………………………………………… 74
فصل پنجم : نتیجه گیری و مقایسه
1-5 نتیجه گیری ………………………………………………………………………………………………………………………………………………………….. 81
2-5 مقایسه ……………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………. 82

مقدمه :
تکنولوژی MEMS مبنی بر تعدادی وسایل و روشهاست که برای ساختن ساختارهایی با اندازه میکرومتر میباشد. قسمتهای اصلی این تکنولوژی از تکنولوژی ساخت مدارهای مجتمع(integrated circuits) بدست آمده است برای مثال، تقریبا تمام ساختارها، همانند IC روی یک ویفر سلیکونی ساخته شده اند. تمامی ساختارها همانند IC با لایه نشانی یک لایه نازک از فلز تعریف میشوند یا اینکه طرح و نقشه آنها با استفاده از روشهای فتولیتوگرافی(photolithographiy ) صورت می پذیرد. البته در MEMS مراحلی نیز وجود دارد که از تکنولوژی IC نیستند و هر چه قدر تکنولوژی پیشرفت میکند فاصله این دو تکنولوژی از هم زیادتر میگردد.
اخیراً تكنولوژی MEMS پیشرفت قابل توجهی را در ساخت و تست وسایل جدید كسب كرده است و تكنولوژی های نو و كاربردهای جدیدی به واسطه آن بوجود آمده است.

ویژگی هایی مانند وزن كم، اندازه كوچك، مصرف انرژی پایین و پایداری و مقاومت وسایل ساخته شده با این تكنولوژی روز به روز بر جذابیت و رشد این صنعت می افزاید. وسایل MEMS ی بیشماری وجود دارد كه در عرصه های مختلفی از علم و مهندسی به-طور موفقیت آمیزی استفاده شده است. به عنوان مثال می توان از كاربردهای وسایل MEMS در چاپگرهای سریع، میكروپمپ ها، آنتن های نمایشگر تصویر و شتاب سنج های كیسه هوا را نام برد كه جایگزین وسایل مرسوم شده و در نتیجه باعث كاهش در هزینه ها شده اند.
در حال حاضر وسایل MEMS توسعه زیادی را در پهنه وسیعی از زندگی داشته اند[2] كه از آن جمله می توان به كاربردهای دارویی، وسایل كمكی در دیدن و شنیدن، سیستم های اندازه گیری و پاشش مقدار معینی از دارو و شبیه سازی عصبی را نام برد.
بازار وسایل MEMS بر پایه سیلیكون در سال 2005 به مقدار 1/5 میلیارد دلار رسید. روند صعودی بازار وسایل MEMS تا سال 2010 در شكل2-1 پیش بینی شده است. این در حالی است كه بازار وسایل دیگر MEMS كه بر پایه پلی مرها می باشد و بیشتر معطوف به مشتقات دارویی است در اینجا نشان داده نشده است. بر طبق این پیش بینی توقع داریم كه این بازار در سال 2010 به میزان 7/9 میلیارد دلار برسد. یعنی نرخ رشد % 15 می باشد [3]..

(ممکن است هنگام انتقال از فایل اصلی به داخل سایت بعضی متون به هم بریزد یا بعضی نمادها و اشکال درج نشود ولی در فایل دانلودی همه چیز مرتب و کامل است)
تعداد صفحه :99
قیمت : 14700تومان